MEMS的协同仿真

摘要：

仿真是微机电系统(MEMS) 设计的重要手段.目前MEMS中的集成仿真方法对设计人员要求太高从而限制了其使用范围.为了充分发挥仿真在MEMS设计中的作用,把协同设计的思想引入MEMS仿真中,提出了协同仿真的设计方式.构建了MEMES的协同仿真框架,分析了其仿真流程和数据文件的构成,并阐述了节点载荷映射的混合法.最后对一个MEMS器件进行协同仿真并与集成仿真的结果进行了比较,证明了方法的可行性.

关键词：多场耦合、协同仿真、微机电系统

所属期刊栏目：24

分类号：TP391.77(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：282-285