单晶区熔生长实验灵境仿真系统的研制

摘要：

半导体单晶区熔生长实验灵境仿真系统是遥科学系统中的一个子系统.它通过对半导体单晶区熔生长实验的仿真,为载荷专家(简称PI)提供虚拟的闭环实验进程通路,并可被用来设想性地响应各种操作对整个实验进程的影响.在此系统中,他们提出了一个升温曲线可调节的、可遥操作的仿真模型,并利用OpenGL实现了实验场景和实验对象的3维可视化,使得PI可以通过网络远程采集仿真实验的数据、调节实验参数.该文介绍了此系统仿真方法、实现的功能以及所采用的关键技术.

关键词：仿真、遥操作、晶体生长

所属期刊栏目：17

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家科技攻关项目863-2-4-3

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：59-62