硅基底TiO2纳米管阵列的制备

摘要：

本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片.分别在乙二醇和丙三醇两种电解液中进行阳极氧化,均在硅基底上形成了高度有序的TiO2纳米管阵列.该方法与硅工艺集成技术兼容,有利于基于TiO2纳米管阵列的微纳米器件的设计和制造.

关键词：TiO2纳米管阵列、阳极氧化法、硅基底、磁控溅射

所属期刊栏目：19

分类号：TB34;TG115.21+5.3;TB43(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11174172

在线出版日期：2013-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9