(Ba,Sr)TiO3薄膜制备技术新进展

摘要：

(Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜材料是目前国际上新型功能材料研究的热点之一,本文综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺,并简要介绍了BST目前的研究进展、微观结构、性能及应用,深入分析了BST铁电薄膜主要制备技术的优缺点,指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题.

关键词：(Ba、Sr)TiO、铁电薄膜、制备方法

所属期刊栏目：16

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2009-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56