使用非晶合金薄膜的致动器

摘要：

@@日本东京大学精密工学研究所新近开发成功一种利用非晶合金薄膜材料借助于静电驱动的锥形螺旋弹簧微型致动器，系世界首创制品。该致动器利用锆基非晶金属薄膜在一定的温度范围保持液态过冷熔体的性质加工成锥形螺旋弹簧形状的可动电极，并与在硅基片上分割成4部分的基片电极连接。在这两电极上加电压时，在两电极之间便会产生静电力，利用静电吸引力作用即可实现驱动。这种致动器的直径为800μm，能分阶段进行大约40μm的垂直驱动，通过集成化尚可实现微小物品的搬运以及确定位置等项用途。

机标关键词：非晶合金薄膜、致动器、螺旋弹簧、电极连接、静电驱动、锥形、引力作用、温度范围、确定位置、金属薄膜、硅基片上、过冷熔体、东京大学、薄膜材料、静电力、集成化、制品、直径、用途、液态

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分类号：TG1;TB3

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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