异形电极调控的体声波谐振器力–电多场耦合仿真与优化

摘要：

目的 抑制压电薄膜体声波谐振器(FBAR)寄生振动模态干扰,提出一种异形电极调控的谐振器新结构,并进行力–电多物理场耦合有限元建模分析与参数优化.方法 基于压电薄膜体声波谐振器的力–电耦合方程,运用有限元方法进行参数影响仿真分析,获得不同电极结构形状与敏感几何参数对应的谐振器阻抗特性及寄生振动模态干扰的影响规律,并对提出的异形电极调控谐振器几何参数进行优化.结果 新型电极结构使得薄膜体声波谐振器的导纳特性曲线更加平滑,相位波纹减少,无明显寄生谐振峰.参数优化所得框状电极宽度为6μm、厚度为0.1μm,谐振频率为1.727 GHz.结论 通过异形电极结构形状设计,可以实现对谐振器寄生振动模态的有效抑制,提升谐振器的性能.

关键词：薄膜体声波谐振器、压电效应、多物理场耦合、有限元、频率响应、寄生振动

所属期刊栏目：19

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：中国工程物理研究院创新发展基金项目2019YCX04011

在线出版日期：2022-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：127-132