多层沉积SiC涂层与石墨基体的界面表征

摘要：

目的 制备并表征在柔性石墨纸基体上化学气相沉积(CVD)的多层SiC涂层,及其界面结构、界面处的元素分布等.方法 以柔性石墨纸为基体、甲基三氯硅烷(MTS)为硅源、H2为载气和还原剂、Ar为稀释气,在1030～1070℃温度区间通过真空感应高温炉在石墨基体上分5次制备了多层SiC涂层.通过SEM和EDS表征并分析该涂层的表面结构和切面结构,以及涂层与基体界面处的元素分布.结果 在石墨基体上有效制得了多层SiC涂层,获得的SiC涂层具有明显的两级颗粒结构.经EDS分析确认,在不同沉积层,C与Si的比例的不同.结论 实验证实SiC与基体石墨具有良好化学相容性.SiC涂层表面表观致密,纳米尺度堆积颗粒表观致密,但在微米尺度的堆积颗粒间存在空隙.多层涂层间具有1～3μm的不致密SiC间隙.涂层一侧距界面10μm处的元素分布显示,Si和C元素化学计量比趋近于1︰1,可以认为是涂层的过渡层.

关键词：多层SiC涂层、界面、化学气相沉积、石墨纸

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分类号：TQ174.79

资助基金：国防基础科研项目JCKY2017203C042;国防科技创新特区项目18H86303ZT00501601;西安航天复合材料研究所预先研究项目79999900049902

在线出版日期：2019-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-63