基于POF的温度应力加速试验失效机理一致性研究

摘要：

目的 通过失效物理手段得到温度加速寿命试验的失效机理突变点,节省试验样本,并为加速寿命试验的有效性提供保障.方法 利用电子产品典型失效物理模型,在求解MOSFET器件激活能的基础上确定失效机理突变点,并开展失效物理分析,从微观分析的角度验证失效机理一致性判定方法 的理论正确性和工程适用性.结果 MOSFET器件在温度低于240℃时,失效机理没有发生改变;温度高于240℃时,失效机理发生了改变,与前述失效机理不一致.结论 基于失效物理的方法 可以确定器件机理发生变化的温度应力点,所需样本量小.

关键词：加速试验、失效物理、失效机理一致性

所属期刊栏目：13

分类号：TN306(半导体技术)

资助基金："十二五"科工局技术基础科研项目Z032014B001 Suported by the "Twelfth Five-Year" Technology Basic Research Project. State Administration of Science, Technology, and Industry for National DefenceZ032014B001

在线出版日期：2017-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：104-109