基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作

摘要：

为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS 工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.

关键词：微扑翼飞行器、SU-8、MEMS、仿生机器人

所属期刊栏目：33

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家863计划资助项目2009AA04Z203:机器人学国家重点实验室开放基金资助项目R20200904:上海交通大学SMC基金资助项目T241460622

在线出版日期：2011-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：366-370