基于AFM的机器人化纳米操作中纳观力的初步研究

摘要：

针对基于原子力显微镜(AFM)的机器人化纳米操作,对探针作用下探针-基片-微粒之间纳观力的作用规律进行了初步分析.指出起主要作用的纳观力为范德华力、接触斥力、纳米摩擦力、毛细作用力以及纳米静电力等五种,并初步推导了各种纳观力的表达形式.通过力-距离曲线仿真与实验验证了所进行分析的合理性;该分析有助于进行纳米操作的精确控制.

关键词：纳观力分析、力-距离曲线、机器人化纳米操作、原子力显微镜

所属期刊栏目：29

分类号：TP24;TH742(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60575060;60575050;辽宁省优秀青年科技人才基金2005220025

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：363-367