空间电池用锗抛光片的Marangoni干燥技术

摘要：

作为空间化合物太阳电池的主要衬底材料,锗抛光片对表面质量要求较高.锗片干燥阶段,采用清洁、高效的Marangoni干燥技术可避免采用传统甩干技术造成的锗片表面沾污和边缘损伤.然而锗片在Marangoni干燥过程中易产生干燥缺陷.本文分析了干燥过程中缺陷产生的原因,研究了主要影响表面质量的提拉速率和氮气吹扫时间,认为锗片Marangoni干燥应采用较慢的提拉速率和适中的氮气吹扫时间,以减少表面和边缘干燥缺陷的产生.对经过Marangoni干燥的锗片进行表面雾值分析和外延生长验证,锗片经过Marangoni干燥表面未发生变化.实验结果表明,Marangoni干燥技术可用于干燥锗抛光片.

关键词：锗片、Marangoni干燥、表面质量、异丙醇、光点缺陷

所属期刊栏目：36

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2019-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：552-555