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10.3969/j.issn.1002-6339.2018.06.014

空间电池用锗抛光片的Marangoni干燥技术

引用
作为空间化合物太阳电池的主要衬底材料,锗抛光片对表面质量要求较高.锗片干燥阶段,采用清洁、高效的Marangoni干燥技术可避免采用传统甩干技术造成的锗片表面沾污和边缘损伤.然而锗片在Marangoni干燥过程中易产生干燥缺陷.本文分析了干燥过程中缺陷产生的原因,研究了主要影响表面质量的提拉速率和氮气吹扫时间,认为锗片Marangoni干燥应采用较慢的提拉速率和适中的氮气吹扫时间,以减少表面和边缘干燥缺陷的产生.对经过Marangoni干燥的锗片进行表面雾值分析和外延生长验证,锗片经过Marangoni干燥表面未发生变化.实验结果表明,Marangoni干燥技术可用于干燥锗抛光片.

锗片、Marangoni干燥、表面质量、异丙醇、光点缺陷

36

TN304(半导体技术)

2019-03-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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1002-6339

23-1302/TK

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2018,36(6)

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