化学气相沉积石英玻璃工艺数值模拟

摘要：

为提高某型号立式化学气相沉积炉生产大尺寸高纯度石英玻璃过程中石英玻璃沉积体表面的温度分布均匀性,从而提高其光学性能,对立式沉积炉内石英玻璃的生产过程中温度场和速度场的分布情况进行了数值模拟.通过调整燃烧器的结构,对沉积炉原有模型进行了进一步的改进优化.结果表明改进了的燃烧器型式可以有效地消除偏峰现象,提高表面温度分布的均匀性.

关键词：CVD、石英玻璃、偏峰现象、数值模拟、优化

所属期刊栏目：34

分类号：TK12;TQ171.1+12(热力工程、热机)

资助基金：国家科技支撑计划资助项目2013BAE03B01-06

在线出版日期：2016-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：87-90