电场探测先进传感器技术
技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述研究所发明了基于 MEMS(微机电系统)技术的创新性高性能电场传感器敏感结构,研制出国际上分辨力高的电场敏感芯片;发明了抗表面电荷积聚和离子流噪声干扰、环境适应性强的 MEMS 电场传感器敏感芯片封装方法与结构,研制出 MEMS 电场传感器系列新产品.研制的产品已应用于我国太原、西昌等卫星发射基地的安全发射条件保障系统,成功用于国内外卫星发射和重大航天发射任务中,为星箭发射提供了关键决策依据,在航天发射任务中发挥了重要作用.
2019-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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