光刻技术在微电子设备上的应用及展望

摘要：

用光学复制的手段在半导体内形成相应的图像,其主要是为电路的制作和微电子设备服务的,这是光刻技术的原理.随着我国科技的发展,我国光刻技术也进入成熟发展阶段,其广泛应用在集成电路的生产中,光刻能力已经比较成熟.在未来,微电子设备上的光刻技术还会得到进一步发展.该文就是对光刻技术在微电子设备上的应用和展望进行了具体的分析.

关键词：光刻技术、微电子设备、应用和展望

分类号：U6 ;TU8

在线出版日期：2018-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：83