微电子装置及其制造方法

摘要：

随着我国科学技术不断的发展进步,也在很大程度上推动了微电子装置领域的发展进程,人们对于微电子的装置需求量也是日渐增加,所以本文主要立足于微电子装置及其制造的方法,展开了深入的研究与分析,以此期望为我国今后在对于微电子装置及其制造方法的研究过程当中,为其提供一些参考性的建议.

关键词：微电子装置、制造方法、分析总结

分类号：TN4;F32

在线出版日期：2017-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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