10.3969/j.issn.1009-8119.2015.16.095
a-CNx:H薄膜光学性质的研究进展
a-CNx:H薄膜具有类金刚石结构特征和广泛应用前景,但是β-C3N4的这种类金刚石结构很难形成。目前很多研究人员转而研究其光学性质,实际上其光学性质也有非常重要的意义。本文概述了不同研究小组制备的a-CNx:H薄膜,分析其成膜机理。研究薄膜成分对其折射率和光学带隙的影响,并对其相关机理进行总结和讨论。
a-CNx:H薄膜、形成机理、测试手段、光学性质、光学带隙
TG7;O73
绵阳市科技局项目14G-ZC-06;西南科技大学高教评估项目15GJZX13;西南科技大学素质类教改项目。
2015-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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