a-CNx：H薄膜光学性质的研究进展

摘要：

a-CNx：H薄膜具有类金刚石结构特征和广泛应用前景，但是β-C3N4的这种类金刚石结构很难形成。目前很多研究人员转而研究其光学性质，实际上其光学性质也有非常重要的意义。本文概述了不同研究小组制备的a-CNx：H薄膜，分析其成膜机理。研究薄膜成分对其折射率和光学带隙的影响，并对其相关机理进行总结和讨论。

关键词：a-CNx:H薄膜、形成机理、测试手段、光学性质、光学带隙

分类号：TG7;O73

资助基金：绵阳市科技局项目14G-ZC-06；西南科技大学高教评估项目15GJZX13；西南科技大学素质类教改项目。

在线出版日期：2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：107-107