一种基于PLC控制的半导体设备Cassette传片装置设计

摘要：

文章针对半导体制造设备中Cassette在Loader和Unloader模块中的传接片工作原理,设计了一种基于PLC控制,以编码条和光电传感器定位,直流电机和丝杆驱动的传片装置.该装置安装调试简便,工作稳定可靠,具有较高的通用性和扩展性,便于半导体设备Loader和Unloader组件的快速开发和改造升级使用.

关键词：标准承载料盒、晶圆、可编程逻辑控制器、编码器

分类号：TH7;TP3

在线出版日期：2015-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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