薄膜LiMn2O4阴极制备研究进展

摘要：

尖晶石状LiMn2O4是制备高能量密度的锂离子电池的一种很有发展前景的阴极材料.评论了近年来制备薄膜阴极的方法,包括化学酸基溶解法、溶胶-凝胶法、激光焙烧法、增强型等离子体化学气相淀积法、脉冲激光法、电子束喷射沉积法和射频磁控溅射法.着重分析了能够和IC、MEMS工艺良好集成的射频磁控溅射的方法,提出了工艺路线,并规划了下一步工作.

关键词：薄膜电池、LiMn2O4、制备方法、相容性

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2006-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-40,42