金属玻璃微制造技术现状与研究进展

摘要：

金属玻璃,又称非晶态合金,因具有长程无序、短程有序的独特组织结构而拥有超常的综合性能,是制造微纳器件的理想材料之一,然而,其易过热变性且禀性钝惰硬脆,是一种典型难加工的材料之一.在分析金属玻璃组织结构特点和力学性能的基础上,按等材、减材和增材3种成形方式对金属玻璃的微制造方法与技术进行了综述.介绍各自的加工与成形原理、工艺特点、技术优势、基础应用和发展现状,分析了它们的不足与发展趋势.目前,等材成形是主流的微成形加工方法,是基于非晶材料内在特性的一种成形方式.减材与增材成形加工现阶段仍处于探索之中,工程应用案例较少,有一定的发展潜力.最后展望了金属玻璃微纳制造领域的未来发展方向与研究重点.

关键词：金属玻璃;微纳制造;热塑性微成形

所属期刊栏目：14

分类号：TH142

资助基金：国家自然科学基金;河南省高校基本科研业务费专项

在线出版日期：2022-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：40-49