尘埃粒子计数器检校探讨

摘要：

洁净室环境中,尘埃粒子计数器通常用于监测生产线的颗粒污染,其检测结果是洁净室洁净度等级划分的依据.由于空气中不同大小的颗粒存在不同的相关风险,颗粒的数量、大小的检测及检测结果的准确性,对保证生产质量至关重要,因此,需进行定期校准.本文依据ISO 21501-4:2018,对其检测、校准过程中遇到的问题进行分析和探讨.

关键词：尘埃粒子计数器、ISO 21501-4、检测、校准

所属期刊栏目：50

分类号：R954;TQ460.8+2;R155.5

资助基金：江苏省市场监督管理局科技项目KJ21125014

在线出版日期：2023-08-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24