10.15988/j.cnki.1004-6941.2019.12.011
全自动动态配气仪控制系统的软件设计
全自动动态配气仪是目前气体配制领域使用广泛的仪器,本配气系统采用质量流量比法配制标准混合气体,通过严格控制一定比例的组分气体和稀释气体的流量,并加以混合而制成标准气体.控制系统采集气体浓度传感器信号同预先输入的设定值比较,利用智能PID控制,调节流量控制器输出流量,达到配制给定浓度气体的要求.
动态配气、质量流量法、MODBUS协议、流量控制器、智能PID
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TB71+1(真空技术)
2020-03-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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