10.15988/j.cnki.1004-6941.2019.5.018
Interbay物料运输系统实时调度方法
自动物料运输系统(AMHS)的运行效率对晶圆制造系统有影响.本文提出了一种有效的多目标动态调度方法.首先,建立多目标成本模型,并提出了一种基于模糊理论的改进方法,动态调整成本模型中的权值.采用匈牙利算法对模型进行求解.仿真实验结果表明,与其他调度方法相比,该方法具有更好的综合性能.
半导体制造系统、AMHS、模糊理论
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O313(理论力学(一般力学))
2019-08-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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