10.15988/j.cnki.1004-6941.2018.10.032
激光干涉仪线性测量的光路准直调整方法
本文首先概述了XL-80双频激光干涉仪对中国一拖集团有限公司的数控机床的周期检测的必要性和意义,随后简单介绍了XL-80激光干涉仪线性测量硬件配置和工作原理,最后详细介绍了两种激光干涉仪线性测量的光路准直方法.
激光干涉仪、线性测量、光路准直
45
TB9(计量学)
2018-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
93-95
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激光干涉仪、线性测量、光路准直
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TB9(计量学)
2018-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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