具有梯度过渡层的DLC膜空蚀机理研究

摘要：

本文中采用RF-CVD技术辅助于溅射、反应溅射在不锈钢基体表面沉积了纯Ti层及其化合物层的过渡层,然后在表面沉积掺硅与非掺硅类金刚石膜,研究其力学性能与抗空蚀能力.研究结果表明,增强薄膜硬度和弹性模量可以提高薄膜抗空蚀能力,但较大地弹性模量和内应力同样容易引起薄膜表层剥落.由于掺杂硅元素可使类金刚石膜在水环境中化学性质更加不稳定,所以掺杂硅元素会对薄膜抗空蚀性产生不利影响.

关键词：射频气相沉积、梯度过渡层、类金刚石膜、抗空蚀性

所属期刊栏目：44

分类号：TB9(计量学)

在线出版日期：2018-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：87-89,91