数字干涉仪移相器PZT位移测量与标定

摘要：

干涉仪移相器的非线性会造成测量结果的不准确,因而对移相器非线性的测量和标定十分必要.本文提出了一种运用多普勒激光干涉仪测量PZT位移并进行标定的方法,该方法操作简单、结果精确,可以快速得到电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定.在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差很小.

关键词：移相器、PZT、非线性、位移测量、标定

所属期刊栏目：44

分类号：TU196+.4(建筑基础科学)

在线出版日期：2018-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,37