一种MEMS压力传感器测试分析

摘要：

MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要.本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品,给出达标样品测试结果.

关键词：压力传感器、测试、满量程输出

所属期刊栏目：44

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：2016年“辽宁省大学生创新创业训练计划”项目201610149033

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1-2