双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践

摘要：

本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短了光路调整时间,极大提高了工作效率.

关键词：双频激光干涉仪、校准、光路、调整

所属期刊栏目：43

分类号：O657.319(分析化学)

在线出版日期：2017-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：30-31