X射线坐标测量机测量误差校准方法及不确定度评估

摘要：

用于测量复杂零件内部尺寸的X射线坐标测量机，弥补了坐标测量机等传统测量仪器只能对外部尺寸进行精密测量的先天不足，已广泛应用于高端制造业。针对目前我国还没有X射线坐标测量机相应的标准器和校准规范，对其计量特性缺少可靠的评价方法，本文设计了校准其长度测量误差的球板标准器（U＝0.3μm～0.5μm，k＝2），确保其量值能溯源到国家基准。分析了采用该标准器校准蔡司X射线坐标测量机长度测量误差的不确定度。

关键词：X射线、坐标测量机、校准、不确定度

所属期刊栏目：43

分类号：TB9(计量学)

在线出版日期：2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：97-100