测量MEMS中几何量的方法的探讨

摘要：

中国正处于快速发展阶段.MEMS也顺应时代的潮流迅速兴起.由于其制作过程要求及其精密.所以,对其几何量的测试方法要求也十分严格.在此过程中,涉及到MEMS几何量测量中的特殊测量方法.目前MEMS几何量测量的方法一般有光切、干涉、光栅投影、扫描探针等.在探索MEMS几何量测量的方法之前,应对其工作的原理及检测方法进行初步的探索和分析.这样才能更深层次地挖掘其几何量测量,法的合理性以及发展趋势.接下来便是本文,对MEMS几何量测量方法的一些探讨.

关键词：MEMS、测量特点、测量方法

所属期刊栏目：43

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2016-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：20-21