10.3969/j.issn.1004-6941.2014.04.029
浅述计量光栅技术
利用光栅的莫尔条纹原理,把计量光栅作为精密计量元件,广泛应用于仪器仪表及机床等方面,有利于实现测量的自动化、数字化以及动态测量,并有利于提高测量精度.本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍.随着现代电子技术的发展,计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域,并向着纳米级精度突破.
计量光栅、莫尔条纹、光栅光学系统、光栅细分技术
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TB9(计量学)
2014-05-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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