10.3969/j.issn.1004-6941.2013.10.011
等厚干涉数字处理系统平晶测量不确定度分析
将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定.
测量不确定度、等厚干涉仪、CCD、图像处理
40
TP3;TH7
2013-11-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
19-21
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10.3969/j.issn.1004-6941.2013.10.011
测量不确定度、等厚干涉仪、CCD、图像处理
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TP3;TH7
2013-11-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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