测厚尺寸法钟罩气体流量标准装置的不确定度评定

摘要：

采用测厚尺寸法评定钟罩式气体流量标准装置不确定度在现有研究中鲜有报道.依据测厚尺寸法的检定过程,对引起装置误差的各个方面分别分析计算,得到标准不确定度分量,合成后得到装置扩展不确定度Urel=0.40％,表明标准装置精度较高.

关键词：测厚尺寸法、钟罩、气体流量标准装置、不确定度

所属期刊栏目：40

分类号：TH8;TE9

在线出版日期：2013-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：74-75