10.3969/j.issn.1004-6941.2013.05.006
耐高温小型压差传感器的研制
小型耐高温压差传感器主要用于高温状态下测量发动机活塞两腔压力差.采用SOS(硅-蓝宝石)材料制作硅压阻式压力敏感芯片,两只压力敏感元件,分别测量高压端和低压端的压力输出,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出.
差压传感器、SOS(硅-蓝宝石)、扩散硅、压阻效应
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TP2;TH8
2013-07-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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11-12,14