基于Wyko NT1100表面轮廓仪的光纤端面检测

摘要：

采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的单模与多模光纤端面粗糙度,并与光学显微镜检测的结果进行了对比.结果表明:表面轮廓仪表适合检测光纤端面及刻蚀加工后的三维特征,反映湿法刻蚀加工光纤端面的刻蚀深度和微腔形貌.

关键词：光学轮廓仪、光纤端面、粗糙度、湿法刻蚀

所属期刊栏目：40

分类号：TH7;TB9

在线出版日期：2013-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：35-36