10.3969/j.issn.1004-6941.2012.11.016
表面粗糙度三维测量和评定的研究
本文论述了应用相移干涉原理测量三维表面粗糙度,给出了测量系统的组成,实现相移的微位移器件压电陶瓷应用,三维表面粗糙度评定参数的确定.
三维表面粗糙度、相移干涉、压电陶瓷
39
TB9;TH1
2013-02-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
31-32,34
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10.3969/j.issn.1004-6941.2012.11.016
三维表面粗糙度、相移干涉、压电陶瓷
39
TB9;TH1
2013-02-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
31-32,34
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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