10.3969/j.issn.1004-6941.2012.04.009
基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析
为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCvD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义.
红外测温法、温度场分布
39
TK1;TN2
广东省重大科技专项2010A080802006
2012-07-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
18-19,21