10.3969/j.issn.1004-6941.2011.02.034
CdTe多晶薄膜的干法腐蚀
我们采用等离子束轰击的方法,研究了干法腐蚀对多晶CdTe薄膜结构和性能的变化,以及对CdTe太阳电池性能的影响.发现与湿法腐蚀方法相比,等离子束溅射轰击不仅可以彻底清除表面的氧化层,而且可以同时改善表面的微粗糙度,增强薄膜的附着力.通过对不同腐蚀方法所制成的CdTe电池器件的性能测试,得出了电池性能较好的干法腐蚀工艺条件.
CdTe太阳电池、干法腐蚀、背接触
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TN3;TN7
2011-06-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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