10.3969/j.issn.1004-6941.2010.06.023
激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用
为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度.根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍.实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观.
十米光栅测长机、激光干涉仪、直线度、动态测量
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TH7
2010-09-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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