MEMS热电堆高温测试系统中的MEMS传感器动态性能测试

摘要：

传感器作为整个系统的核心部件,其性能对整个系统的指标起至关重要的作用,尤其是动态特性的优劣直接决定能不能测试到瞬态温度的变化.本文针对MEMS热电堆高温测试系统选定的A2TPMI型热电堆传感器进行静、动态性能标定,目的是为整个高温测试系统提供比较精确的传感器参数,为整个高温测试系统的校准提供理论依据.

机标关键词：MEMS传感器、热电堆传感器、高温测试系统、动态性能测试、Based、Measurement System、High Temperature、performance Test、动态性能标定、瞬态温度、理论依据、动态特性、指标、校准、核心、参数

所属期刊栏目：37

分类号：TM6;TP3

在线出版日期：2010-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46