利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性

摘要：

为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放大倍率高和工作距离长的特点.首先,系统利用频闪成像技术、五步相移方法和分割线去包裹算法测量微结构离面运动,然后,再通过扫频技术得到微结构的幅频特性和谐振频率.利用该测试系统对硅微悬臂梁的离面振动和幅频特性进行了测试,实验结果表明:硅微悬臂梁的谐振频率为13.03kHz,离面振动测量重复性误差小于10nm.系统具有较好的测量可重复性和较高的测量精度,能满足微结构动态特性测量对测试系统的性能要求.

关键词：微结构、Linnik、显微干涉、离面运动、幅频特性

所属期刊栏目：36

分类号：TM9;TH7

资助基金：国家自然科学基金50775090;国家博士后科学基金20070410930;国家自然科学基金重点项目50535030;新世纪优秀人才支持计划NCET-06-0639

在线出版日期：2009-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6