10.3969/j.issn.1004-6941.2009.03.003
平晶平面度综合测量方法探讨
在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求.本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式.
平晶、平面度、等厚干涉仪、有效直径
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R32;TH1
2009-05-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
5-8
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10.3969/j.issn.1004-6941.2009.03.003
平晶、平面度、等厚干涉仪、有效直径
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R32;TH1
2009-05-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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