光探针式表面形貌测量技术的研究

摘要：

本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号.研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对工件表面无任何划伤,尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量,对Ra为0.012μm的粗糙度样板进行测量,其测量重复性为2%.

关键词：光探针、差动像散法、小波包分析、表面形貌测量

所属期刊栏目：32

分类号：TG8(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：4-5