表面形貌光学法测量技术

摘要：

介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述.

关键词：表面微观形貌、光学方法、测量

所属期刊栏目：32

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2005-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6