关于光切显微镜的定度

摘要：

光切显微镜以光切原理为基础,能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题,是测量表面粗糙度的专用仪器之一.光切显微镜一般测量RZ值大于0.8μm的工件.本文主要解决在使用光切显微镜时,首先要解决的问题一定度难的问题.

关键词：定度、C值、格值、RZ值

所属期刊栏目：29

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：11-11