光纤压力传感器测量的最小偏差腔长解调算法

摘要：

在光纤传感技术领域应用基于法珀腔(外腔式法布里-珀罗干涉腔)结构的光纤压力传感器进行气体压力测量时,由于传感器结构决定了腔长动态范围相对较小,需要高分辨率的腔长测量方法.因此针对基于法珀腔结构的光纤压力传感器进行绝对腔长解调算法研究,提出一种高精度最小偏差腔长解调算法,通过将法珀腔光纤压力传感器密封在压力标准源中,对等间隔压力变化产生的不同腔长进行实时解调,实现了气体压力的实时测量.实验结果表明,法珀腔光纤压力传感器腔长值随压差变化呈现出良好的线性关系和重复性,腔长测量的重复性为±1 nm,精度为0.149 6％,压力测量的重复性为0.12％,压力测量的精度优于0.5％.

关键词：计量学、压力测量、光纤传感器、外腔式法布里-珀罗干涉腔、腔长解调

所属期刊栏目：44

分类号：TB935(计量学)

资助基金：国家自然科学基金U20B2057

在线出版日期：2023-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1235-1239