电感型光学超导转变边沿探测器件光学谐振腔设计

摘要：

为提高电感型光学超导转变边沿探测器件的探测效率,针对波长633 nm的光子,厚度15 nm的铌(Nb)膜光子吸收层,设计了一种基于Al全反射层、SiO2和SiNx 减反层的谐振腔结构.通过仿真,选取低反射率参数分布区间,利用终点探测曲线作为谐振腔性能的判断依据,通过磁控溅射工艺和化学气相沉积工艺制备了谐振腔,并使用分光光度计测试了反射率,结果表明:制备的谐振腔可将633 nm光波反射率降低至0.9％,并对506～690 nm宽波段光也有良好的减反效果(反射率＜1％).

关键词：计量学、超导转变边沿、超导Nb膜、反射率、光学谐振腔、化学气相沉积、磁控溅射

所属期刊栏目：44

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家自然科学基金61901432

在线出版日期：2023-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1159-1162