小型化硅基微腔光子测温系统

摘要：

回音壁模式硅基微腔光子温度传感可应用于强电磁场、高辐照、强振动等极端环境下的温度测量.在前期设计、制备、验证具有毫开尔文(mK)量级分辨率的硅基微环光子温度传感器的基础上,研制了一套小型化微腔光子测温硬件系统,包括信号发生与高速数模转换、电压-电流转换、激光二极管温度控制和微弱信号采集与放大等模块,设计并实现了基于单片机的同步测量方案和光谱测温算法.在高稳定恒温浴槽内验证了系统性能,实际测温结果的扩展不确定度为115 mK(k=2),测温范围30 K.

关键词：计量学、微腔光子测温、温度传感、光子温度计、微环谐振腔、高分辨率、小型化

所属期刊栏目：44

分类号：TB942(计量学)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1052-1058