用于扫描电子显微镜校准的10 μm格栅样板

摘要：

扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器.为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准.首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10 μm的格栅样板.其次,为了准确评价格栅特征的一致性,研究了一种矩形检测算法.测量过程中,使用该算法对样板的格栅特征进行测量,并把使用原子力显微镜获取的测量数据作为参考值.实验结果显示:矩形检测算法能够快速检测出格栅特征,测试数据稳定在6 nm以内.此外,研制的格栅样板一致性好,一致性参数控制在0.2以内,能够应用于扫描电子显微镜的校准.

关键词：计量学、格栅样板、扫描电子显微镜、矩形检测算法、原子力显微镜、校准

所属期刊栏目：43

分类号：TB921(计量学)

在线出版日期：2023-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1544-1548