计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究

摘要：

为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准.结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上Si02膜厚标准片进行测量,示值误差＜0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测 量校准服务的准确性.

关键词：计量学、计量型激光椭偏仪、椭偏测量、初始入射角、校准、微纳米薄膜

所属期刊栏目：43

分类号：TB922(计量学)

资助基金：国家质量基础的共性技术研究与应用专项2017YFF0204705

在线出版日期：2022-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：571-577