微机电系统微摩擦测试技术研究

摘要：

为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术.探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线.通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据.

关键词：计量学;微摩擦;微机电系统;测试技术;光反射;计量标定

所属期刊栏目：42

分类号：TB931(计量学)

资助基金：吉林省教育厅"十三五"科学技术项目JJKH20191248KJ

在线出版日期：2021-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1288-1293